无尘车间接地系统的分哪几类？

电子设备接地

还是采用短而粗的导线与地相连, 一般采用 6 mm2  的铜线, 与设置在设备附近的专门的接地母排连接, 然后再与总接地干线连接。接地电阻要求不超过10 m。对于个别设备 , 如产品说明书对接地电阻有特别要求的, 则根据要求接地。

防雷接地

防雷接地指在雷雨季节为防止雷电过电压的保护接地。对于一般建筑而言, 在采取了防雷措施后。

可以将直击雷与雷电波侵入的雷害的概率降低很多。对于一般电气设备, 允许的雷电脉冲较高, 因此采取避雷针 、避雷网防直击雷等措施是极其有效的。微电子设备非常灵敏, 耐压水平很低, 一般只有 10 V左右, 对雷击电磁脉冲极为敏感, 易受到电磁干扰和损坏。雷击电磁脉冲因电磁感应产生, 并且可以通过电源线 、天线 、信号线的耦合被引入微电子设备。

是微电子设备损坏的主要原因。如果仅按照一般建筑进行防雷设计, 建筑电子设备受雷击的损坏

率就很高, 因此对于无尘车间的防雷接地设计应采取相应的措施。无尘车间应按照防闪电电磁

脉冲的屏蔽和等电位联结要求, 宜扩大侧击及等电位联结措施, 将地面以上建筑物的外墙上的所有结构钢筋体、金属门窗、栏杆、幕墙等金属体与防雷装置相连接以构成庞大的屏蔽体。

过滤器DOP（PAO）检漏法在洁净室中的应用

扫描时采样头距过滤器面约1英寸（约2. 54cm），扫描速度不超过5cm/s。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。检测过程中，若有报警声（即%LEAKAGE（泄漏率）超过0.01%），表明有泄漏。泄漏处使用专用胶水堵漏或紧固以后再进行扫描巡检。检查一个过滤器约为5 min左右，在测试的过程中，应经常确认上游气溶胶的浓度。